真空电浆清洗机是一种运用低压气体电浆体的清洁设备。主要使用一些非聚合性无机气体（如Ar2、N2、H2、O2等），於高频低压下被激发，生成含有离子，通过电浆体的‘活性’组分的性质来处理样品表面，达到实现清洁、涂覆产品表面之效果。
在真空设备中，会提供一组电极施以射频电压，电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的相互作用下，生成高能量的无序的电浆体，活性电浆对被清洗物进行表面物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，以达到清洗、活化、接枝等目的。
适合用于金属表面及不耐热的塑胶材质，避免高温造成目标物损伤，防止金属氧化生成金属氧化层。
• 真空低压电浆︱表面清洁/活化/增加表面粗造度，效率高缩短工作时间。适合用于金属表面，避免金属氧化生成金属氧化层。