真空电浆清洗机是利用低压气体电浆体。利用一些非聚合性无机气体（Ar2、N2、H2、O2等）在高频低压下被激发，生成含有离子，通过电浆体的“活性”组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
在真空腔体里，给一组电极施以射频电压，电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，生成高能量的无序的电浆体，活性电浆对被清洗物进行表面物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒
子和气态物质，经过抽真空排出，以达到清洗、活化、接枝等目的。
真空低压电浆：表面清洁/活化/增加表面粗造度,效率高缩短工作时间。
适合用于金属表面，避免金属氧化生成金属氧化层。